摘要: 为探究射频离子源驱动器线圈电气参数对射频放电的影响，主要进行了射频离子源等离子体激发的物理分析，并计算了射频电源的频率选择与线圈放电电流、线圈匝间电压以及放电气压之间的关系，设计了射频离子源驱动器的主要参数。研制的射频离子源驱动器装置，成功获得氢等离子体射频放电。实验结果和理论计算结果符合很好。
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