大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现

       摘要: 在大功率 RF 离子源中,激励器的作用是产生等离子体,阻抗匹配电路是激励器吸收 RF 功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联,采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路,给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型,推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时,搭建了一个阻抗匹配电路,成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。

作者:
岳海昆 李冬 刘开锋 李小飞 汪辰热 陈德智
单位:
华中科技大学电子信息与通信学院,武汉 430074; 华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室,武汉 430074 华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室,武汉,430074
出处:
《核聚变与等离子体物理》
刊期:
2015年第35卷第4期
基金:
国家磁约束核聚变能发展研究专项

大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现

摘要:在大功率 RF 离子源中,激励器的作用是产生等离子体,阻抗匹配电路是激励器吸收 RF 功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联,采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路,给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型,推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时,搭建了一个阻抗匹配电路,成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。

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