飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究

       摘要: 为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验.采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌.结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道.此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值.

作者:
梁德志 王敏 杜晨林 伍晓宇
单位:
深圳大学 光电工程学院,深圳,518060 深圳大学 机电与控制工程学院,深圳,518060
出处:
《激光技术》
刊期:
2017年第41卷第2期
基金:
深圳市科技计划基础研究资助项目

飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究

摘要:为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验.采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌.结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道.此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值.

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